《多晶硅工廠(chǎng)設計規范》（GB51034-2014）【全文附高清無(wú)水印PDF+DOC/Word版下載】

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標準編號：GB51034-2014

標準名稱(chēng)：多晶硅工廠(chǎng)設計規范

英文名稱(chēng)：Code for design of polysilicon plant

發(fā)布日期：2014-08-27

實(shí)施日期：2015-05-01

發(fā)布單位：國家市場(chǎng)監督管理總局

中國標準分類(lèi)：P76(通信工程)

國際標準分類(lèi)：29.045(半導體材料)

簡(jiǎn)介：本規范適用于采用三氯氫硅氫還原法的新建、擴建和改建多晶硅工廠(chǎng)的工程設計,也適用于硅烷歧化法多晶硅廠(chǎng)中三氯氫硅合成、四氯化硅氫化和氯硅烷提純的工程設計。





 

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