《硅片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》（GB/T39145-2020）【全文附PDF版下載】

《硅片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法》（GB/T39145-2020）【全文附PDF版下載】

標準號：GB/T39145-2020

中文標準名稱(chēng)：硅片表面金屬元素含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法

英文標準名稱(chēng)：Test method for the content of surface metal elements on silicon wafers-Inductively coupled plasma mass spectrometry

中國標準分類(lèi)號（CCS） H17 國際標準分類(lèi)號（ICS） 77.040

發(fā)布日期 2020-10-11 實(shí)施日期 2021-09-01

主管部門(mén) 國家標準化管理委員會(huì ) 歸口單位 全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )

發(fā)布單位 國家市場(chǎng)監督管理總局、中國國家標準化管理委員會(huì )

全文下載：《硅 片表面金 屬元素含量的測定電感耦 合等離子體 質(zhì)譜法》（GB/T39145-2020）【提取碼: jte6】

掃描二維碼 關(guān)注我們

本文鏈接：http://jumpstarthappiness.com/bz/94585.html

本文關(guān)鍵詞： 硅片, 表面, 金屬, 元素, 含量, 測定, 電感, 耦合, 等離子體, 質(zhì)譜法, GB, 2020, 全文, PDF版, 下載