《電子工業(yè)用二氯硅烷》(GB/T38866-2020)【全文附PDF版下載】
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《電子工業(yè)用二氯硅烷》(GB/T38866-2020)【全文附PDF版下載】
標準號:GB/T38866-2020
中文標準名稱(chēng):電子工業(yè)用二氯硅烷
英文標準名稱(chēng):Dichlorosilane for electronic industry
中國標準分類(lèi)號(CCS) G86 國際標準分類(lèi)號(ICS) 71.100.20
發(fā)布日期 2020-07-21 實(shí)施日期 2021-02-01
主管部門(mén) 國家標準化管理委員會(huì ) 歸口單位 全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會(huì )
發(fā)布單位 國家市場(chǎng)監督管理總局、中國國家標準化管理委員會(huì )
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