《基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動(dòng)器的納米定位與掃描平臺測量方法》(GB/T38614-2020)【全文附PDF版下載】

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《基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動(dòng)器的納米定位與掃描平臺測量方法》(GB/T38614-2020)【全文附PDF版下載】











標準號:GB/T38614-2020

中文標準名稱(chēng):基于柔性鉸鏈機構和壓電陶瓷驅動(dòng)器的納米定位與掃描平臺測量方法

英文標準名稱(chēng):Measuring method for nano positioning and scanning stage based on flexible hinge mechanism and piezo actuator

中國標準分類(lèi)號(CCS) N10 國際標準分類(lèi)號(ICS) 01.040.39

發(fā)布日期 2020-04-28 實(shí)施日期 2020-11-01

主管部門(mén) 工業(yè)和信息化部(電子) 歸口單位 全國電子測量?jì)x器標準化技術(shù)委員會(huì )

發(fā)布單位 國家市場(chǎng)監督管理總局、中國國家標準化管理委員會(huì )









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本文關(guān)鍵詞: 機構, 陶瓷, 驅動(dòng)器, 納米, 定位, 掃描, 平臺, 測量, 方法, GB, 2020, 全文, PDF版, 下載

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